FA4.0

Motivation

Die Mikroelektronik ist der Schlüssel zu Innovationen wie Industrie 4.0, intelligenter Medizintechnik und dem automatisierten Fahren. Um die Innovationsdynamik der Elektronikbranche in diesem Bereich zu stärken, fördert das BMBF im EUREKA-Cluster PENTA deutsche Unternehmen und Forschungseinrichtungen in bi- und multinationalen Verbundprojekten entlang von grenzüberschreitenden Wertschöpfungsketten zu den genannten Applikationsfeldern und bei der Erforschung von neuen Basistechnologien zur künftigen Mikroelektroniksystemfertigung in Europa.

Ziele und Vorgehen

Die Komplexität und Integrationsdichte moderner Elektroniksysteme nimmt stetig zu. Dadurch werden die Anforderungen an die Zuverlässigkeit der genutzten Komponenten immer stringenter. Neue Methoden der Fehleranalyse sind daher wesentlich, um die Fehlerrate zu reduzieren, und für das Bestehen der Branche im internationalen Wettbewerb. Im Vorhaben sollen die Konzepte von Industrie 4.0, insbesondere des „digitalen Zwillings“, auf die Prozesskette der Fehleranalyse in der Halbleiterfertigung übertragen sowie KI-basierte Methoden in der Analytik erforscht werden. Die Ergebnisse sollen anhand einer beispielhaft umgesetzten, vollständigen Prozesskette über verschiedene Analysewerkzeuge hinweg demonstriert werden.

Innovationen und Perspektiven

Eine durchgehende Industrie 4.0-konforme Prozesskette in der Fehleranalyse birgt hohes Potenzial für Kosteneinsparungen und Nachhaltigkeit in der Halbleiterfertigung. Dies leistet einen wichtigen Beitrag zum Erhalt der Elektronikbranche in Europa und zur Sicherung der Kompetenzen. Neue KI-basierte Analysemethoden können von den beteiligten Firmen auf andere Branchen übertragen werden.  

Europäische Partner

• Tschechische Republik: TESCAN ORSAY HOLDING a.s.
• Frankreich: Ecole des Mines de Saint Etienne, Université Jean Monnet (Saint-Etienne) en Université Lyon, ORSAY PHYSICS SAS, STMicroelectronics Grenoble 2 SAS, STMicroelectronics (TOURS) SAS, STMicroelectronics (Rousset) SAS