PowerBase

Pilotlinien für effiziente und kompakte Leistungselektronik

Halbleiterbauelemente werden in unterschiedlichen Bauformen angeboten; Ziel des Projekts PowerBase sind besonders kompakte Leistungshalbleiter.©Infineon AG

Motivation

Mikroelektronik ist eine Schlüsseltechnologie für Innovationen in nahezu allen ihren Anwenderbranchen. Um die Wettbewerbsfähigkeit Europas in diesem Bereich zu stärken, fördern die Europäische Kommission und europäische Staaten in der Initiative ECSEL Forschungs- und Entwicklungsvorhaben und Pilotlinien. Deutsche Schwerpunkte liegen dabei auf intelligenten und sicheren Elektronik- und Mikrosystemen, effizienter Leistungselektronik, Chip- und Systementwurf sowie Produktionstechnologien.

Ziele und Vorgehen

Ziel des Projekts PowerBase, in dem 12 deutsche Partner mit 26 europäischen Partnern entlang der gesamten Wertschöpfungskette zusammenarbeiten, ist der Aufbau einer Pilotlinie zur Waferprozessierung und Chipgehäusefertigung für neuartige kompakte Leistungshalbleiter. Hierzu sollen sowohl Fortschritte bei der Verarbeitung des etablierten Halbleitermaterials Silizium, als auch neue Ansätze auf Basis von Galliumnitrid (GaN) erprobt werden, das besonders effiziente Leistungselektronik ermöglicht. Ein weiteres Ziel liegt in der Steigerung des Automatisierungsgrades und damit der Leistungsfähigkeit bereits vorhandener Pilotlinien.

Innovationen und Perspektiven

Die in PowerBase untersuchten Produktionstechnologien ermöglichen große Fortschritte in der Leistungshalbleiterfertigung und festigen die führende Rolle und die Wettbewerbsfähigkeit deutscher Hersteller auf dem Gebiet der Leistungselektronik. Die untersuchten kompakten Leistungshalbleiter können über weitere Innovationen dazu beitragen, in wichtigen Anwenderbranchen wie der Energieanlagentechnik und dem Automobilbau die Energieeffizienz zu steigern und neue Funktionen zu erschließen.

 

Europäische Partner

Belgien: Interuniversitair Micro-Electronica Centrum, Epigan NV; Italien: Universita degli Studi di Padova, Infineon Technologies Italia Arl; Niederlande: BESI Netherlands BV, Trymax Semiconductor Equipment BV; Norwegen: Eltek AS, Universitetei Oslo; Österreich: Infineon Technologies Austria AG, Plansee SE, Fronius Int. GmbH, Kompetenzzent-rum Automobil- und Industrieelektronik GmbH, ams AG, CISC Semiconductor GmbH, Universität Graz, BESI Austria GmbH, Carinthian Tech Research AG;  Slowakei: Slovenska Technicka Univerzita V Bratislave, Nano Design SRO; Spanien: For Optimal Renewable Energy Systems S.L., Ikerlan S. Coop., Greenpower technologies S.L., Consejo Superior de Investigaciones Cientificas – Instituto de Microelectronica de barcelona – Centro National de Microelectronica; Vereinigtes Königreich: Quantemol Ltd., SPTS Technologies Ltd., Memsstar Ltd., University of Bristol.